近日，作为半导体行业大脑的imec（比利时微电子研究中心）公布的蓝图显示，2025年后晶体管进入埃米尺度（Å，angstrom，1埃 = 0.1纳米），其中2025对应A14（14Å=1.4纳米），2027年为A10（10Å=1nm）、2029年为A7（7Å＝0.7纳米）。
当时imec就表示，除了新晶体管结构、2D材料，还有很关键的一环就是High NA（高数值孔径）EUV光刻机。其透露，0.55NA的下代EUV光刻机一号试做机会在2023年由ASML提供给imec，2026年量产。
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不过，ASML似乎暗示这个进度要提前。第一台高NA EUV光刻机2023年开放早期访问，2024年到2025年开放给客户进行研发并从2025年开始量产。
据悉，相较于当前0.33NA的EUV光刻机，0.55NA有了革命性进步，它能允许蚀刻更高分辨率的图案。据悉，0.55NA光刻机一台的价格会高达3亿美元（约合19亿），是当前0.33NA的两倍。
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关键词： ASML光刻机，3亿美元
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